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分子泵渦輪分子泵主要分為立式和臥式兩種。臥式渦輪分子泵,這種結構的分子泵是雙軸流的,吸氣口在兩組抽氣單元的中央,氣體吸入后,分別被左右兩側的葉列組合抽走。由于國內磁懸浮軸承技術(shù)起步較晚,將磁軸承技術(shù)應用到實(shí)際工業(yè)產(chǎn)品中仍存在一系列難題。 正是意識到這一問(wèn)題后,公司以此為科技攻關(guān)點(diǎn),經(jīng)過(guò)多年的不懈努力,磁懸浮軸承技術(shù)研究取得突破。特別是針對復合分子泵的工作原理,研發(fā)出了適合復合分子泵用的磁懸浮高速電機,很后將兩者結合起來(lái),成功研發(fā)出國內生產(chǎn)的磁懸浮復合分子泵,并探索實(shí)現了產(chǎn)業(yè)化。
9、對顆粒物或沉積物敏感; 10、噪音與振動(dòng); 11、破碎問(wèn)題; 12、暴露大氣易引起事故; 綜上所述,渦輪分子泵的特點(diǎn)很多,但是隨著(zhù)我國機械、、電子、化工等領(lǐng)域的高速發(fā)展,渦輪分子泵想要擴大它的市場(chǎng)占有率,其需要克服的難題還有很多。這些不僅僅需要人士的專(zhuān)研,同時(shí)也需要各界的共同努力,對渦輪分子泵特點(diǎn)的進(jìn)一步研究,相信在未來(lái)是個(gè)值得突破的課題。
愛(ài)發(fā)科分子泵, 磁懸浮分子泵應用范圍***。公司研發(fā)總經(jīng)理介紹,在半導體生產(chǎn)線(xiàn)、真空鍍膜生產(chǎn)線(xiàn)、汽車(chē)后視鏡鍍膜生產(chǎn)線(xiàn)等領(lǐng)域都有著(zhù)廣闊的市場(chǎng)前景。 由于磁懸浮軸承技術(shù)具有無(wú)摩擦、、高精度、長(cháng)壽命、低噪音、無(wú)油污等突出優(yōu)點(diǎn),一旦實(shí)現產(chǎn)業(yè)化,將成為能源、節能減排、真空機械等重大戰略領(lǐng)域的技術(shù)。
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由于磁懸浮軸承技術(shù)具有無(wú)摩擦、率、高精度、長(cháng)壽命、低噪音、無(wú)油污等突出優(yōu)點(diǎn),一旦實(shí)現產(chǎn)業(yè)化,將成為能源、節能減排、真空機械等重大戰略領(lǐng)域的技術(shù)。 針對這一科技創(chuàng )新成果,在磁懸浮分子泵領(lǐng)域打破國外的技術(shù)壟斷,提高了國內真空分子泵的技術(shù)水平,推動(dòng)分子泵產(chǎn)品向應用發(fā)展,同時(shí)也為磁懸浮軸承的工業(yè)化進(jìn)展開(kāi)拓探索一條技術(shù)開(kāi)發(fā)路線(xiàn),為進(jìn)一步推廣磁懸浮軸承大規模應用提供了實(shí)際經(jīng)驗。
分子泵是利用高速旋轉的轉子把動(dòng)量傳輸給氣體分子,使之獲得定向速度,從而被壓縮、被驅向排氣口后為前級抽走的一種真空泵。這種泵具體可分為: ?。?)牽引分子泵氣體分子與高速運動(dòng)的轉子相碰撞而獲得動(dòng)量,被驅送到泵的出口,分子泵。 ?。?)渦輪分子泵 靠高速旋轉的動(dòng)葉片和靜止的定葉片相互配合來(lái)實(shí)現抽氣的。這種泵通常在分子流狀態(tài)下工作。
復合分子泵它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯(lián)組合起來(lái)的一種復合型的分子真空泵。分子泵牽引分子泵是氣體分子與高速轉動(dòng)的轉子相碰撞而獲得運動(dòng)的動(dòng)能,被送到出口的一種動(dòng)量傳輸泵。它的特點(diǎn)是起動(dòng)時(shí)間短,在分子流態(tài)下有很高的壓縮比,能抽除各種氣體和蒸汽,特別適于抽除較重的氣體。
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真空泵常規性能參數測試:抽速、壓縮比等性能參數是分子泵設計之初就要首先考慮的,也是各項設計調整優(yōu)化的重要目標。很終產(chǎn)品定型時(shí),對外發(fā)布的各項參數和曲線(xiàn),比如下圖的抽速和壓縮比曲線(xiàn),都來(lái)自于這些測試的結果。這些測試都有相關(guān)的,在此不再展開(kāi)描述。在泵處于垂直、水平和倒立狀態(tài)時(shí),各進(jìn)行6次沖擊測試所測試的泵在24次跌落后無(wú)任何問(wèn)題(不發(fā)生轉子機械接觸,泵運行狀態(tài)不變)。
在每次跌落后驗證泵的不平衡性,結果表明變化,遠低于閾值??拐駝?dòng)測試通過(guò)對一批泵(處于運行和非運行條件下)進(jìn)行一系列測試,證明對外部源產(chǎn)生振動(dòng)的耐受性在105分鐘的振動(dòng)周期中,全轉速和不運行的每個(gè)泵在垂、水平、倒立方向上受到0.5–2g加速度水平的振動(dòng)。該測試證實(shí)了泵的穩定性以及耐振性,因為未觀(guān)察到轉子機械接觸或泵運行狀態(tài)的改變,且泵不平衡性仍然遠低于閾值。
溫度測試將泵置于–40°C至+70°C(處于非運行狀態(tài))以及0°C至40°C(處于運行狀態(tài))下暴露86小時(shí)。對每個(gè)泵的不平衡性和是否可正常操作驗證11次,結果顯示僅存在的變異,遠低于閾值。溫度測試證實(shí)了泵在各種預期運行和非運行溫度條件下的穩定性。傅立葉振動(dòng)分析在制造過(guò)程中以及泵運輸前的很后測試中,對每臺泵的振動(dòng)頻譜進(jìn)行驗證。全速下的平均很大振動(dòng)水平:0.4m/s2。
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